高頻火花檢漏儀的檢測(cè)原理主要基于電火花在真空系統(tǒng)中的放電特性。當(dāng)放電端在移動(dòng)過(guò)程中遇到漏孔時(shí)，分散跳躍的火花會(huì)集中起來(lái)，變成一束細(xì)長(zhǎng)的很明亮的火花束，并且其末端正好指在漏孔上。這是因?yàn)榭諝夥肿咏?jīng)過(guò)漏孔進(jìn)入真空系統(tǒng)，當(dāng)放電端移到漏孔上時(shí)，就將氣體電離。由于電離氣體的導(dǎo)電率遠(yuǎn)比絕緣的玻璃等材料高，所以火花束就集中起來(lái)形成一個(gè)強(qiáng)烈的明亮的火花束照射在漏孔上。此外，還可以通過(guò)觀察真空系統(tǒng)中輝光放電現(xiàn)象的變化情況來(lái)粗略地估計(jì)真空系統(tǒng)的真空度。

 

　　利用高頻電火花來(lái)檢測(cè)真空系統(tǒng)的微小漏洞。當(dāng)放電端在真空系統(tǒng)表面移動(dòng)時(shí)，若無(wú)漏孔存在，火花分布很分散，在玻璃等非導(dǎo)電體表面跳躍位置不定。而一旦遇到漏孔，電火花會(huì)穿過(guò)漏孔進(jìn)入真空系統(tǒng)內(nèi)部，形成一個(gè)明亮的點(diǎn)，從而準(zhǔn)確指示出漏孔的位置。這種檢測(cè)原理使得高頻火花檢漏儀能夠迅速發(fā)現(xiàn)并定位漏孔，提高檢測(cè)效率。
 

　　它不僅可以用于檢測(cè)玻璃真空系統(tǒng)的微小漏洞，還可以對(duì)橡塑管道、陶瓷管道等一切非導(dǎo)電體的真空系統(tǒng)進(jìn)行檢漏。此外，對(duì)于金屬真空系統(tǒng)或容器，雖然不能直接使用高頻火花檢漏儀進(jìn)行檢測(cè)，但可以通過(guò)在金屬系統(tǒng)上安置玻璃規(guī)管或盲管等輔助設(shè)備來(lái)進(jìn)行間接檢漏。
 

　　高頻火花檢漏儀具有準(zhǔn)確的檢測(cè)能力。其檢測(cè)速度快，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大面積的檢測(cè)工作。同時(shí)，由于采用高頻電火花作為檢測(cè)手段，因此具有較高的靈敏度，能夠發(fā)現(xiàn)微小的漏孔。此外，操作也相對(duì)簡(jiǎn)單，易于上手，使得檢測(cè)工作更加便捷。